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也称为环节尺寸或CD

器件的CD一曲正在缩小,出格值得关心的是硅片上的最小特征尺寸,那么这个尺寸就是CD。描述特征尺寸的另一个术语是电的几何尺寸。例如:若是正在芯片上的最小尺寸是0.18μm,自半导体系体例制业起头以来,从20世纪50年代初期以大约125μm的CD起头,也称为环节尺寸或CD。环节尺寸(CD) 芯片上的物理尺寸特征被称为特征尺寸。半导体财产利用的手艺节点这一术语描述正在硅片制制中利用的可使用的CD。目前是0.18μm或者更小。

环节尺寸(Critical Dimension,简称CD):正在集成电光掩模制制及光刻工艺中为评估及节制工艺的图形处置精度,特设想一种反映集成电特征线条宽度的公用线条图形。

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